紫外光刻机(需掩膜版）
仪器预约
仪器介绍：掩膜板紫外光刻机，主要用来微型电路器件的加工，最高精度2微米，最大wafer，4英寸。
设备负责人：徐元星 15715149696
地址：上海市东川路800号理科实验楼群邮编：200240
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